ハードディスク
プロセス
洗浄装置
メディア・ディスク・クリーナ（CDC-）
- 本装置は、未処理のディスク（ケース）をローダにセットすると、トラバーサによりケースから取り出し処理部へロードします。
- 各処理部は、洗剤槽、枚葉両面スクラブ、シャワリンス、薬液槽、メガソニックリンス、IPAベーパ乾燥で構成されます。
- 処理は、バッチ-枚葉-バッチ処理です。処理後は、アンローダに収納し、カセットからディスクをアンロードします。
特長
- スループットは、複数枚同時スクラブ処理を行い1200PPHを達成しております。（2列処理は、2000PPH）
- 薬液は、温調、循環ろ過されます。
- Dip処理は、石英槽の超音波間接照射によりクリーンな処理を行います。
- 超音波、メガソニックの組合せの最適化を図りました。
- 各プロセスをモジュール化し、将来のプロセス変更に対応可能な構造です。
サブストレート・ディスク・クリーナ（CDC-）
- 本装置は、未処理のディスク（ケース）をローダにセットすると、トラバーサによりケースから取り出し処理部へロードします。
各処理部は、洗剤槽、枚葉両面スクラブ、シャワリンス、薬液槽、メガソニックリンス、デファレンシャル乾燥で構成されます。
処理は、バッチ処理（カセットレス）-枚葉スクラブ-バッチ処理（装置内カセット）です。処理後は、アンローダのケースに収納します。
特長
- スループットは、複数枚同時スクラブ処理を行い1200PPHを達成しております。（2列処理は、2000PPH）
- 薬液は、温調、循環ろ過されます。
- スクラブ洗浄後のDip処理は、石英槽の超音波間接照射によりクリーンな処理を行います。
- 超音波、メガソニックの組合せの最適化を図りました。
- 各プロセスをモジュール化し、将来のプロセス変更に対応可能な構造です。
ディスク・スクラバ（CDS-）
お客様のご希望により公開しておりません。
